マイクロ研削を用いたメカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発

抄録

LIGAプロセスでは製造することが困難な3次元マイクロ部品を量産するために，マイクロ研削を用いたメカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発を行った．マイクロ研削を行うために，高速アモルファス電鋳技術を開発すると同時に，ダイヤモンド電鋳皮膜を直径が0.1 mm以下の工具形状に成形できる，ツルーイングとドレッシング技術の開発を行った．また，ストレート状，ならびに工具先端を半球状に成形したマイクロ研削用工具を使用し，アモルファスカーボンに対するマイクロ研削を行った．