マイクロ研削に関する研究

抄録

光情報通信の急激な発展に伴い，耐環境性に優れたガラス製高精度マイクロ光学素子およびモールド用超硬金型の創成が要求されている．また，光学素子に用いられる断面形状の中でもマイクロV溝はその用途が多岐に渡るが，その加工法として研削加工を用いた研究報告の例は見ない．そこで，本研究では超硬およびガラス，シリコンを用いた超精密マイクロV溝研削を試み，V溝先端半径および仕上げ面粗さについて調査した．その結果，超精密マイクロV溝研削における問題点が明らかになった．