水の分解生成物を利用したレーザクリーニングに関する研究

抄録

紫外光を水に照射すると水を分解できる．これらの分解生成物を使用してレーザクリーニング行う手法を提案する．レーザにはArFエキシマレーザを使用し，水には純水の他に，pHによる影響を明らかにするため硫酸溶液，水酸化ナトリウム溶液を用いた．レーザ光による水の分解生成物を利用することで，レーザ光を試料に直接照射することなくクリーニングできることを明らかにした．