エキシマレーザを用いたマイクロディンプル形状の創成に関する研究

抄録

エキシマレーザを用いたマイクロディンプル形状の創成について検討した．ステッピングモータで回転数を制御できる回転ステージ上に被加工物であるポリサルホンを取り付け，ステージを回転させながらレーザ加工を行った．その結果，照射したレーザ光の重なり方の違いにより断面形状を制御し，ディンプル形状の創成が可能であることが明らかとなった．