YAGレーザ高調波によるシリコンのマイクロ三次元加工

抄録

Siはマイクロマシン材料としても広く使われている.しかし現状では，マイクロマシンデバイスの多くは,シリコンプロセスといった複雑な加工行程が主流である．またこの加工方法では三次元加工ができないなどといった難点があるため，本研究ではYAGレーザ第四高調波を用いたSiのマイクロ三次元加工を目標とし，加工雰囲気を大気中と水中で行い，水中にて加工することにより，良好な加工品位が得られた．