位相シフト近赤外フィゾー干渉法によるシリコン透過型平面の形状測定

抄録

本研究は放射光用ミラーとして高い精度を要求されるシリコン平面ミラーの形状を近赤外光を用いた干渉法によって測定することを目的としている。原器の平面度によらない高精度絶対形状測定法として、3面合わせ法を用いた位相シフトフィゾー干渉法がよく知られているが、被測定面のシリコンを透過型参照面としても使用しようとするとき、シリコンは可視光域で不透明であるため、シリコンに対し透明な波長1310nmの近赤外レーザダイオードを光源とする近赤外干渉法を提案し、シリコン平面ミラーの平面度測定を行った。