精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: J33
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最新の光技術と形状計測技術(5)
変位測定のための共通光路干渉計
偏光の利用による光学系の改良
*神谷 和秀野村 俊日高 真太田代 発造三野 正幸奥田 聖一
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抄録
鏡面物体の変位をナノメータレベルで計測するため、シンプルな共通光路干渉計と干渉縞の解析手法の提案を行い、数ナノメートルの段差を高い応答速度で検出することが可能となった。今回は、これまでの光学系に、偏光技術を用いることで、光源の利用効率をさらに向上させることが可能となったので、これについて報告を行う。
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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