精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: J34
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最新の光技術と形状計測技術(5)
フォトポリマプロセスによる光導波路型変位計
*阿久津 敏憲大谷 幸利梅田 倫弘徳永 剛
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抄録
 フォトポリマで製作した光導波路を用いて変位計測の開発を行ったので報告する. 被測定物にフォトポリマを塗布し光導波路の直接描画を行う.引っ張り変形を与えると被測定物の変形に伴い光導波路も変形する.変形前と変形後の透過光強度を測定し変位計測を行う.
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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