精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: J54
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最新の光技術と形状計測技術(7)
微小レンズの2次元複屈折分布計測
(第2報)複屈折位相差の高精度計測
*酒井 洋平大谷 幸利梅田 倫弘
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抄録
近年の記録データの大容量化に伴い,青色半導体レーザを用いた次世代高密度DVDの開発が進められている.高密度化を可能とするために,使用するピックアップレンズもより高性能なものが求められる.しかし高分子材料であるプラスチックを材料としているため,成形条件などで発生する複屈折の影響からピックアップ信号が劣化するという問題が発生し,これは高密度記録である次世代DVDではより顕著に表れやすくなる.そこで製品の加工評価として複屈折の計測を行う必要がある.今回はピックアップレンズの複屈折位相差をより高精度に計測するため,解析に局所サンプリング法を用いた結果を報告する. 
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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