2波長レーザ光を用いた粗面物体の変形位相測定

抄録

1波長のレーザを用いた変形測定は，変形が小さく画像取込毎の変形による光路差変化量が半波長以内である時のみ応用が可能である。画像取込の前後で1波長以上の光路差変化がある場合は，そのような変形が多く存在するにもかかわらずこれまで測定が出来なかった。そこで2波長のレーザを同時に用いる変形測定法をこれまで研究してきた。この開発結果について報告する。