AFMの広領域化と実測凹凸データにおける臨界点の抽出法に関する研究

抄録

頂上点，谷底点，鞍点といった，いわゆる臨界点を抽出することによって表面性状の解析を行うことを試みた．対象となる実測凹凸データは十分な標本量を有していることを前提とし，一連のデータセットの獲得及びスティッチング処理を行う機構を市販のAFMに設ける事で，データの広領域化を実現した．本報では，実測凹凸データの広領域化の方法，表面に存在する臨界点の抽出法及び解析結果の検討について論旨を展開してゆく．