微細形状測定データにおける異常値の検出と処理

抄録

微細形状の測定を行う際、データにノイズが混入することがある。その中に異常値と呼ばれる特に大きな値を示すものがある。その発生原因は様々であるが、異常値は検出され除去されなければならない。異常値に対し様々な研究がなされるようになってきたが、処理法·検出法·定義など明確になっていないところが多い。本研究は、スペクトル解析や推定法などをよりどころとして異常値とその処理法について考察することにある