円筒機能面全体計測に対する新しい接続手法の開発

抄録

近年の加工技術の進歩により精密加工された形状には寸法、形状偏差、うねり、表面粗さの振幅の大きさのオーダが同程度になる傾向にあり、従来のように別個に計測·解析する方法に問題が生じてくる。そこで本研究では、表面粗さを評価できるような高分解能で、形状偏差まで扱えるような広領域なデータを獲得する手法の開発を目的とし、共焦点顕微鏡を用いて測定された円筒表面形状の部分的空間データの接続を円周全体まで行うものである。