小型自走機械群による超精密生産機械システム

第72報 3点支持球による微細マニピュレ－タの開発と応用

抄録

本研究はXYθに独立自由度を有する小型自走機械に小型ツールを搭載し顕微鏡下で微細作業を行うシステム構築を目的としている.前報までに小型自走機械の基本性能,試料の姿勢を変えるためのツールの開発について明らかにした.しかしツールを平面で自由に位置決めできるようになったが高さ方向の位置決めができなかった.本報ではツールと試料の高さ方向の距離を微小制御するために、3本の圧電素子で,微細プロ－ブを取り付けた球を支持,駆動する機構を提案し,その基本性能について明らかにする.