小型自走機械群による超精密生産機械システム 第71報　ホッピング工具の微小加工力の制御

新村 武; 青山 尚之

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.673.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: M01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.673.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）（1）

小型自走機械群による超精密生産機械システム

第71報　ホッピング工具の微小加工力の制御

*新村武, 青山尚之

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キーワード: ホッピング工具, 圧電素子, 分散システム

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抄録

本研究では超小型の移動機構に微細加工ツールを搭載することで，数μm 程度の微小圧痕を精密な間隔で連続的に生成することに成功している．前報では微小圧痕の集合から微小溝を形成できることを示し，微細加工ツールの位置決めを XY 2 軸方向に拡張することで微小溝より構成される 2 次元の微細パターンを形成することに成功した．本報ではツールの加工力を制御して微小圧痕を任意のサイズで生成した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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