精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: M03
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マイクロ/ナノシステム(旧マイクロメカニズム)(1)
小型自走機械群による超精密生産機械システムについて
第73報 XYθ型自走機械の隊列維持制御システムの開発
*西澤 竜太藤井 裕介青山 尚之淵脇 大海
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抄録
 前報までにXYθに独立自由度を有する小型自走機械を提案し、基本性能を報告した。また、本機構を複数台用いた顕微鏡下微細作業システムを提案し、その有効性を示した。本報では微小赤外線センサを搭載し、相互に距離を計測することで、複数台の隊列を精密制御するシステムを検討したので報告する。ここでは対象物を包囲するよう円陣状に配置した隣り合う自走機械の距離をモニタし、微小な位置と角度を自動制御させることを試みた。
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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