精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: M07
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マイクロ/ナノシステム(旧マイクロメカニズム)(2)
小型自走機械群による超精密生産機械システム
第76報 XYθ型自走機械によるリボルバー式複合微細作業の試み
*淵脇 大海斉藤 貴康青山 尚之
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抄録
本研究室では、XYθに独立自由度を有する自走式のXYθ小型自走機械について検討を行っている。前報までに任意点での回転動作や、任意方向への並進移動が可能であることを示し、さらに動作の補正が可能であることを示した。本報では、複数のツールを本機構に搭載し、各ツールに最適な自由度を割り振ることで複合微細作業をする作業手法について検討を行ったので報告する。
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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