ダイヤモンド製微細部品の把持作業に関する研究

抄録

ダイヤモンドは地球上に存在する物質の中で最も固く、耐磨耗性や耐食性などに優れている。ダイヤモンドをマイクロメカニズムに応用すれば、部品交換が少なくメンテナンスフリーに近い部品の製作が可能になる。本研究ではダイヤモンド製手先効果器を有するマイクロマニピュレーションシステムを用いて、10μm単位程度の微小なダイヤモンド材を把持する際に発生する諸問題を検討し、いくつかの考察を行ったので報告する。