小型自走機械群による超精密生産機械システム

第75報　球パレットの精密搬送と微細加工

抄録

前報では小型自走機械を顕微鏡視野内まで誘導を実現した。ここでは更に顕微鏡視野内へもう1台のドリル搭載自走機械を精密誘導し、2台の自走機械で保持された球状試料台上の試料への連続微細加工を行った。今報では、そのシステム構成、機能および結果について報告する