摩擦力顕微鏡（FFM）機構を利用した極微細加工に関する研究（第11報）

エッチング速度の加工条件依存性と三次元加工への応用

抄録

摩擦力顕微鏡(FFM)機構によるナノスケール機械加工とアルカリエッチングを組み合わせることで，単結晶シリコン表面にマスクレスで直接的に三次元微細構造を形成する手法について検討している。本報では加工条件が単結晶シリコン表面加工部のマスキング作用に与える影響を明にすることで三次元微細構造を形成した。