シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用

抄録

　単結晶シリコンの異方性エッチングを用いて作製したシリコンモールドに，CVD法によってダイヤモンド膜をコーティングすることによりダイヤモンドアレイ工具を作製した．このダイヤモンドアレイ工具を研削加工をはじめ様々な精密加工用工具として用いるための基礎的な研究を行った．