精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会春季大会
セッションID: M24
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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）（4）
集束イオンビームによる微細3次元形状体の製作
*野口 裕之, 村川 正夫
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キーワード: 集束イオンビーム
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抄録
集束イオンビームを使用して，微細3次元形状加工を行う．使用ビーム特性の影響を調査し，加工に最適なビーム条件を見いだした．これにより高精度な微細3次元形状の加工が可能となり，微細なタービン形状の加工物を得ることができた．
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© 2003 公益社団法人　精密工学会
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