集束イオンビームによる微細ダイヤモンド工具の製作

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: M23

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ／ナノシステム（旧マイクロメカニズム）（4）

集束イオンビームによる微細ダイヤモンド工具の製作

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抄録

集束イオンビームを使用して，微細加工が可能な先端が微細なダイヤモンド製の切削バイトを製作する．さらに，このバイトを使用して微細軸の切削加工を行った．切削加工で軸径5ミクロンの軸の製作が可能であった．