モータ駆動用電極を利用した静電モータ用位置センサの開発

抄録

筆者らは電磁モータと同等の出力性能を有する高出力静電モータを開発している。本報では、この高出力静電モータ用に開発した位置センサについて報告する。開発した位置センサは、トランスを介して駆動電圧にセンサ用高周波信号を重畳することにより、駆動電極を直接リニアスケールとして利用する。これにより、コンパクトな構成のサーボモータが構成可能である。センサの原理や性能、また、開発したセンサを利用した位置決め制御の試みについて報告する。