レーザドップラ式振動計の不確かさ要素に関する考察

抄録

精密位置決めにおいて、床面の暗振動や静定時の残留振動等、振動評価は欠かせない。近年身近になったレーザドップラ式振動計は、非接触計測、粗面でも計測可能、広帯域など、優れた特徴を有しているが測定精度について検討した報告は見あたらない。そこでレーザドップラ式振動計の不確かさ要因について考察、報告する。