XYθ3自由度サーフェスエンコーダに関する研究

矢内 宏明; 高 偉; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.770.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.770.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（2）

XYθ3自由度サーフェスエンコーダに関する研究

*矢内宏明, 高偉, 清野慧

著者情報

キーワード: 計測, 位置決め, ステージ, 多自由度, サーフェスエンコーダ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

XY2軸のステージを精密に駆動するためには，XYの位置を検出するとともにZ軸回転（θ）を制御するが必要ある．そこで，本研究ではステージに内蔵するセンサとして，2本の2次元光学式角度センサと2次元角度格子を組み合わせた3自由度サーフェスエンコーダを設計し，試作した．また，実験によりその性能を評価した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）