半一体構造の精密位置決め用一軸回転ステージの機構開発

抄録

一般的な回転ステージは円形案内に沿ってステージをウオームとピニオンによって駆動するものが多い。この機構では回転角は大きく取れるがねじのあそびによる送り角度のヒシテレシスは避けられない。本研究で紹介する回転ステージは圧電素子によっててこを駆動し、このてことに一体で組み込まれた弾性ヒンジの変形によって回転変位を得ようとするものである。本ステージの回転角は比較的小さいが理論的には約10°得られる事になっている。主に機構原理、実験値、理論計算および有限要素法解析結果の比較検討を行う。