超音波振動により励起されるスクイーズ空気膜を用いた非接触回転駆動機構

第2報　基礎特性実験

抄録

これまでに、圧電素子を用いて、円管状の軸受面を超音波周波数で半径方向に変位させることで、軸－軸受間にスクイーズ空気膜を発生させて軸を非接触案内するラジアルスクイーズ空気軸受を開発した。さらに、回転軸の運動誤差に応じて、圧電素子の時間平均的な変位量を制御することで、非接触で運動誤差補正を行った。本報では、振動励振点の時間的·空間的位置を変化させ、軸受面にたわみ進行波を発生させる。その結果、軸は進行波の移動方向に回転し、非接触モータを実現できる。