圧電素子を用いた滑らかな動作をする直動ステージの試作 第2報　ナノメートル位置決めの達成

小野 将志; 安彦 大地; Le Anh Quan; 高田 孝次; 明田川 正人; 真柄 憲治; 村木 高志; 宗形 豊; 寺尾 功成; 李 進模

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.777.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N53

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.777.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（3）

圧電素子を用いた滑らかな動作をする直動ステージの試作

第2報　ナノメートル位置決めの達成

*小野将志, 安彦大地, Le Anh Quan, 高田孝次, 明田川正人, 真柄憲治, 村木高志, 宗形豊, 寺尾功成, 李進模

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キーワード: 精密位置決め, 圧電素子, 尺取虫機構, 直動ステージ, ナノメートル

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抄録

従来の尺取虫機構では一時的に変位しない状態が必然的に生じ，STM等の精密測定装置に使用するのに不具合が生じる．前報では滑らかな動作はクランプ用に2個，送り用に2個の圧電素子を用いる事で実現できる事に着目し装置を試作した．本報では主としてクランプ機構の装置構成を変更し、滑らかな動作の改良を試みた．また試作したステージの分解能は1ナノメートル以下である事も確認したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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