Walking Drive を用いた超精密アライメント装置の開発 変位拡大機構の適用と画像処理を利用した位置決め

社本 英二; 植村 友昭; 森脇 俊道; 山内 朗; 奈良場 聰

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.778.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N54

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.778.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（3）

Walking Drive を用いた超精密アライメント装置の開発

変位拡大機構の適用と画像処理を利用した位置決め

社本英二, *植村友昭, 森脇俊道, 山内朗, 奈良場聰

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キーワード: Walking Drive, 位置決め, アライメント, 圧電素子, 変位拡大機構, 画像処理

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抄録

著者らはWalking Driveと呼ぶ新しい駆動方法を開発してきた．これは圧電素子を用いて長ストロークにわたる滑らかな送り動作を実現する超精密駆動方法である．本稿では，本手法を半導体製造装置に適用し，新たに圧電素子の変位拡大機構を適用して超精密アライメントテーブルを開発した．そして，CCDカメラを用いて画像処理による超精密位置決めを試みた．

責任著者(Corresponding author)

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