可変絞り型油静圧スラスト軸受のアクティブ制御に関する研究

小型可変絞りを用いた場合

抄録

本研究では可変絞りを用いた油静圧軸受の動特性を改善するために、可変絞りに用いられている浮動円板を小型化する手法を提案する。この小型可変絞りにはボイスコイルモータが取り付けられており、アクティブに制御することができる。その結果、動的な荷重変化に対してナノメータオーダで応答することを理論的、実験的に明らかにする。