圧電素子を利用した移動機構の位置決め方法

抄録

微動と粗動が可能な位置決め機構として，圧電素子を脚とする移動体を提案し，その動作特性について検討した．本移動機構は，圧電素子の急速変形による揺動作用を利用することにより移動する．本研究では，駆動条件による移動量の変化を調べ，最適な駆動条件を求めた．また，PID制御を適用することによりサブミクロンオーダの位置決めを可能とした．