加速度フィードバックループを有する位置制御 第1報　基本構成と基礎実験

二見 茂; 川本 武; 西内 彰一; 浜松 弘; 辻 輝生

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.793.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: N75

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.793.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（6）

加速度フィードバックループを有する位置制御

第1報　基本構成と基礎実験

*二見茂, 川本武, 西内彰一, 浜松弘, 辻輝生

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キーワード: 加速度フィードバック, 位置制御

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抄録

加速度フィードバックループを有する位置制御の基本構成と基礎実験を述べる．加速度は位置制御において重要な情報である．運動の基本状態量であるとともに，バンド幅が広い．従来の速度制御を加速度制御に置き換えると，より精密で，より応答が速い位置制御が可能になる．また位置指令に対するサーボの型を2型に上げることができる．本報告では，リニアモータとボールネジ駆動系の二つの系に加速度フィードバックを行った基礎実験について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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