誤差情報を利用した送り駆動系の制御

抄録

　送り駆動系で運動を行うと，マイクロメートルのオーダでは指令どおりの軌跡は得られない．その原因は機構の幾何学的誤差や制御系の追従誤差など理由は様々である．しかし，これらの誤差の中にはボールねじのたわみ，モータのコギングなど原因の分かっているものがある．本研究は，原因の分かっている誤差情報を制御系に組み込んでXYテーブルの運動精度を向上させるものである．