光学ガラスの超精密研削における研削条痕の観察

抄録

光学ガラスの仕上げ工程の高精度・高能率化を目的とし,ナノオーダーの切込み制御を行うことの出来る超精密加工試験機を用いてビッカース圧子を工具にした単粒研削試験を行った.得られた条痕の断面を詳細に観察し,その形状と加工条件の関係を把握するとともに,加工メカニズムについて考察した.ビッカース圧子の対稜角や対面角と条痕の角度を比較した結果,超精密研削では弾性回復量が無視できない値であることが判明した.