抄録
筆者の一人は、研磨加工に匹敵する固定砥粒加工法として、新概念による超平滑研削加工法を考案・開発した。これまでに、考案した超平滑研削法を適用することにより,#140の粗粒ダイヤモンド砥石を用いて各種ファインセラミックスの仕上面を数10nm以下に加工し得た。本報では、近年、光ファイバーや光導波路等に採用され、エレクトロニクス分野の技術革新を支える
光学ガラスに、超平滑研削法を適用し、高能率・高平滑加工の可能性を検討した.その結果、3次元仕上面粗さにおいて(Rz)3D値で約27nm,(Ra)3D値で約1.4nmの超平滑面に近い仕上面が得られたので報告する.
