矩形ガラス材の高平坦化研磨 (第2報)

工具軌跡に依存する平坦度

抄録

　テレビや液晶などのディスプレイに使用されるガラス材や、リソグラフィに使用されるレチクルには、大形基板化とともに高精度化が要求されている。これらの材料はいずれも矩形状をしているため、従来の回転系の研磨機では高平坦に研磨することがきわめて難しい。
　本報告ではこのような矩形状の薄板を高平坦に研磨加工するための工具軌跡について、開発したシミュレーションプログラムを用いて計算し、実験結果と比較したので報告する。