多慣性系の性質を利用した相対変位の抑制法

山極 高; 石川 修弘; 荻原 元徳; 清谷 進吾

doi:10.11522/pscjspe.2004A.0.497.0

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: K08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004A.0.497.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（2）

多慣性系の性質を利用した相対変位の抑制法

*山極高, 石川修弘, 荻原元徳, 清谷進吾

著者情報

キーワード: 弾性送り機構, 走査機構, 多慣性系, 3慣性系, 相対変位, 最適レギュレータ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

多慣性系の一つである空間走査測定機は,通常それぞれの軸がモータ,送り機構,走査機構の各要素より構成され,制御に際しては各要素の有限な剛性により生じる振動により走査機構の制御位置とプローブが取り付けられる先端位置の間に相対変位を生じ,そのため測定誤差が発生する.これに対して,空間走査測定機を3慣性系でモデル化し,その性質を利用した相対変位の抑制法について報告する.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）