精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会秋季大会
セッションID: K09
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精密・超精密位置決め(2)
加速度入力による片持はりの高速位置決め制御
高次振動モードの影響
村上 新池田 隆*鎌倉 達生
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抄録
柔軟構造物を位置決め制御する際,加減速の時間幅,または加速と減速を開始する時間差を制御対象の固有周期の整数倍と等しくすることにより残留振動の低減が可能であり,両者の条件を同時に満たすことによって,ロバスト性を向上させることができる.この制御法を先端に質量をもつ片持はりに適用し,高速移動する際のはり先端の残留振動への高次振動モードの影響を数値シミュレーションによって調べ,その有用性を明らかにした.
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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