マイクロハンドリング用ステージおよびエンドエフェクタに関する研究

抄録

サイズが数μm～数十μmの機械部品を精度良く効率的にハンドリングする手法およびそのための機構に関して検討した。具体的には、サブミクロンの分解能で位置決め可能であり、SEMの筐体内に収納可能な微小3軸ステージを試作した。その結果、試作ステージが前記目的を達成するために十分な動作性能を有していることを明らかにした。さらに、部品ハンドリングの際に超音波振動を利用する方法をあわせて検討したので報告する。