外乱の影響を受けにくい二波長光干渉応用変形測定法

橋本 康弘; 安達 正明

doi:10.11522/pscjspe.2004A.0.677.0

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: N33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004A.0.677.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス（5）

外乱の影響を受けにくい二波長光干渉応用変形測定法

*橋本康弘, 安達正明

著者情報

キーワード: 光応用技術, フォトニクス技術, オプトメカトロニクス, メカノフォトニクス

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

現在,非接触性,高感度性などの様々な利点からレーザを用いた光干渉応用計測技術が注目されているが、光干渉応用変形測定では光路差のサブミクロンオーダーの正確な制御が必要であり,振動や風等の影響を受ける通常の環境下での応用はこれまで難しかった.本研究ではDSPI法に二波長レーザと共通光路干渉計を組み合わせて,突発変形に耐えうることのでき,さらには外乱の影響を受けにくい高精度変形測定法の開発を目的とした.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）