超音波加工用微小径工具の研削加工に関する研究

抄録

超音波加工用の微小工具を作るために、2本のエアタービンスピンドルで被削材を挟み込み研削する加工方法を試みた。φ6の軸付砥石を13万rpmで回転させ、φ1.2の超硬丸棒を研削した結果、35μmまで細くすることができた。また、PCD(焼結ダイヤモンド)にも同じ方法を試みた結果を報告する。