硬脆材料の超音波ダイシングに関する研究

石川 憲一; 諏訪部 仁; 丹野 義剛; 岳 義弘

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.13.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: A14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.13.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

切断加工(1)

硬脆材料の超音波ダイシングに関する研究

石川憲一, 諏訪部仁, *丹野義剛, 岳義弘

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キーワード: ダイシング, 固定砥粒, 超音波振動

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抄録

　本研究では,40kHzの長音オア振動を外周刃工具の半径方向に付加させることによって,高速切断加工の可能性を実験的に検討した.本報告では厚さ1mmのソーダガラスを高速切断した際の切断抵抗,チッピング,うねり,加工面粗さの挙動を評価した.その結果,切断抵抗及びチッピングの低減が実現でき,無振動加工時と比較してほぼ同じ加工精度を維持した状態で加工速度を1.6倍程度向上できることが明らかとなった.

責任著者(Corresponding author)

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