精密工学会学術講演会講演論文集
2004年度精密工学会春季大会
セッションID: A14
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切断加工(1)
硬脆材料の超音波ダイシングに関する研究
石川 憲一諏訪部 仁*丹野 義剛岳 義弘
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抄録
 本研究では,40kHzの長音オア振動を外周刃工具の半径方向に付加させることによって,高速切断加工の可能性を実験的に検討した.本報告では厚さ1mmのソーダガラスを高速切断した際の切断抵抗,チッピング,うねり,加工面粗さの挙動を評価した.その結果,切断抵抗及びチッピングの低減が実現でき,無振動加工時と比較してほぼ同じ加工精度を維持した状態で加工速度を1.6倍程度向上できることが明らかとなった.
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© 2004 公益社団法人 精密工学会
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