角度校正技術と自己精度校正機能を内蔵する高精度角度センサの研究

抄録

高精度角度センサを安定して供給するための手段であり,角度センサが自らの精度を測定し校正する原理に関する研究である。複数配置された信号検出ヘッドから同時に2箇所以上の位置データをアブソリュート信号検出し,角度位置信号演算により各誤差次数を抽出して自己の誤差を検出する。検出した誤差を補正値として用いROM精度補正を行う方式により高精度角度センサを実現する。