工作機械直進運動精度6自由度同時測定法 ロール測定誤差の改善法

今井 登; 清水 伸二

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.275.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: E39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.275.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

高精度・高能率工作機械の設計と評価技術(2)

工作機械直進運動精度6自由度同時測定法

ロール測定誤差の改善法

*今井登, 清水伸二

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キーワード: 工作機械, 測定, 運動精度

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抄録

本研究ではレーザビームを基準として用い,工作機械の直進運動精度の6自由度成分を同時に測定する方法の開発を行ってきた.特に,ロールに対し基準となる2本のレーザビームをターゲットから半面鏡で反転させることで,高精度な測定を実現する方法を提案した.本研究では,ロール測定誤差の原因となる半面鏡の面精度を高精度に測定し,この値を用い補正を行うことで測定精度を向上させる方法を提案する.

責任著者(Corresponding author)

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