超精密マザーマシン開発の基礎研究

山口 祥之; 堀内 宰; 澁谷 秀雄; 村上 謙介

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.277.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: E50

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.277.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

高精度・高能率工作機械の設計と評価技術(3)

超精密マザーマシン開発の基礎研究

*山口祥之, 堀内宰, 澁谷秀雄, 村上謙介

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キーワード: 工作機械, 超精密加工, 加工精度, 有限要素法, アクティブマウント

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抄録

超精密マザーマシンとは、精密加工機の様々な機械部品を加工することのできる工作機械である.本研究では、きさげ作業による修正加工を必要とせずに超精密加工機用部品を加工できる超精密マザーマシンの開発を最終目的する.マザーマシンとしては、門型平面研削盤を想定した.この二次元モデルを有限要素法で解析し、テーブル移動によるベッドの変形をアクティブマウントにより抑制することで加工精度向上の可能性を検証した.

責任著者(Corresponding author)

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