ボールねじ軸の自動ラップ盤の開発(第3報) 熟練作業者によるボールねじ軸ラップ加工におけるラップトルク測定

石松 純; 久曽神 煌; 磯部 浩已; 細貝 豊

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.32.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: A37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.32.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

転がり機械要素(2)

ボールねじ軸の自動ラップ盤の開発(第3報)

熟練作業者によるボールねじ軸ラップ加工におけるラップトルク測定

*石松純, 久曽神煌, 磯部浩已, 細貝豊

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キーワード: ボールねじ, ラッピング仕上げ, ラップトルク, 熟練作業者, インプロセス測定

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抄録

現在,半導体製造装置などに用いられる精密ボールねじ軸の最終仕上げ工程では熟練作業者の手によってラッピングが行われている.作業者はラッピング中に工具に生じる力すなわちラップトルクを感知し加工の進捗の度合いを測っている.本研究ではこのラッピング工程の自動化が研究されてきた.今回,改めて熟練作業者が加工中に感知しているラップトルクを測定することで,従来の研究の実効性を検証する.

責任著者(Corresponding author)

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