CVDダイヤモンド膜の研磨

(第1報)超音波による摩擦熱を利用した研磨の検討

抄録

CVDダイヤモンド膜は耐摩耗性や潤滑性に非常に優れていることから、これまで切削工具に用いられてきた。また最近ではプレス金型への利用も検討されている。しかし、CVDダイヤモンド膜は結晶構造をしているために、表面粗さが大きく、工具や金型に利用しようとすると研磨が必要になる。そこで、CVDダイヤモンド膜の研磨方法として、超音波振動による摩擦熱を利用した研磨方法を提案し、その可能性について検討する。