半導体製造過程

別の世界の多変数制御

抄録

LSIなどと呼ばれる半導体集積回路(デバイス)製造産業は1工場の建設に3千億円程かかるギャンブルのような産業である。しかしながら、生産には500を超える工程に写真の原板にあたるマスクを50枚以上使用し、100を超える種類の1台数億円する装置を数百台並べて、約1ヶ月がかりで行われる。各装置は数百点のセンサ・アクチュエータが装備されるためそれだけでも制御点数は多いが、数工程前後の工程の影響があるためフィードバック・フィードフォワードをかける。こうして0.1ミクロン以下の線幅のパターンを多数重ねる極めて多変数の制御が求められる。