高精度長尺工具の3次元スリット幅測定に関する研究

古川 勝; 高 偉; 清水 浩貴; 清野 慧; 安竹 睦実; 高橋 和彦; 福田 努

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.400.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: G36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.400.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(2)

高精度長尺工具の3次元スリット幅測定に関する研究

*古川勝, 高偉, 清水浩貴, 清野慧, 安竹睦実, 高橋和彦, 福田努

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キーワード: 機上計測

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抄録

薄膜塗布に用いられる幅が数百mm,長さが1～2m前後,深さが数百mmのスリットを持つ高精度長尺塗布工具では,スリット幅やスリット面の形状精度が塗布性能に影響を与えることから、幅や形状の高精度な測定が必要である.本研究では非接触変位計を使ってスリット内部での幅を,加工現場で非接触かつ迅速,高精度に測定する手法を開発する.本報では原理と,測定結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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